Повышение точности измерения выходной частоты пьезорезонансных датчиков давления

Abstract

В настоящее время направление, связанное с разработкой и производством датчиков давления с пьезорезонансными чувствительными элементами (ЧЭ) интенсивно развивается в России и за рубежом [1]. Преимуществом резонансных датчиков перед датчиками с емкостными и пьезорезистивными ЧЭ является высокая точность и стабильность характеристик, малое изменение частоты колебаний при воздействии температуры в широком диапазоне от –60˚С до +150˚С.