|
eaDonNTU, Donetsk >
Научные труды ДонНТУ >
Серія: Хімія та хімічні технології >
Випуск 134 >
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://ea.donntu.ru/handle/123456789/2168
|
| Название: | Получение металлических пленов путем термолиза пентакарбонилгалогенидов ревния (I) |
| Другие названия: | FABRICATION OF METAL FILMS BY
THERMOLYSIS OF RHENIUM PENTACARBONYLHALOGENIDES |
| Авторы: | Шаповал, А.Н.
Бобухов, Д.В.
Штеменко, А.В.
Shapoval A.
Bobuhov D.
Shtemenko A. |
| Дата публикации: | 2008 |
| Издатель: | Донецький національний технічний університет |
| Библиографическое описание: | Наукові праці Донецького національного технічного університету. Серія: "Хімія і хімічна технологія". Випуск 134 - Донецьк: ДонНТУ, 2008. - С. 9-14. |
| Серия/номер: | Хімія та хімічні технології;17 |
| Аннотация: | Изучены способы нанесения рениевых покрытий. Рассмотрены
особенности CVD процессов для различных классов соединений. С помощью
масс-спектрального анализа изучены особенности термического разложения
соединения Re(CO)5Вr. На основании литературных данных и результатов
проведенного анализа выбраны оптимальные условия нанесения пленки
металлического рения. Предложена установка для нанесения рения методом
CVD. Осаждение металлического рения проводилось из газовой фазы на
керамические, металлические и стеклянные подложки. Проведен анализ
полученных образцов. |
| Описание: | The methods of disposition rhenium coatings were studied. Features CVD
processes for various classes of compounds were observed. Characteristics of
thermal decomposition of compound Re(CO)5Вr were investigated by means of
mass-spectrometric analysis. Optimum conditions for deposition film from metal rhenium were offered on the basis of literary data and performed results. Plant for
deposition of rhenium by method CVD was offered. Deposition of metal rhenium
coatings from gas phase was carried out on ceramic, metal and glass substrates.
The analysis of the received samples was carried on. |
| URI: | http://ea.donntu.edu.ua/handle/123456789/2168 |
| Располагается в коллекциях: | Випуск 134
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.
|
