|
eaDonNTU, Donetsk >
Автомобильно-дорожный институт >
Факультет "Транспортные и информационные технологии" >
Кафедра "Общенаучные дисциплины" >
Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни" >
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://ea.donntu.ru/handle/123456789/10835
|
| Название: | Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана |
| Другие названия: | Influence of ion bombardment of the substrate on the quality of the besieged titanium nitride films |
| Авторы: | Бруяка, О.О.
Харлова, К. С. |
| Ключевые слова: | Ионая бомбардировка
bombarding ions
шероховатость
roughness
массоперенос
mass transfer
дифрактограмма
difraktogramma |
| Дата публикации: | 2011 |
| Издатель: | Praha. Publishing House “Educa-tion and Science” |
| Библиографическое описание: | Бруяка О.О.,Харлова К.С.Влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана//Materialу VII mezinárodni vêdecko – praktiká conference "Aplikovane vĕdecké novinky. – 2011" .Dil 7. Techniké vĕdy. Výstavba a ar-chitektura. Matematika. Fyzika.Výstavba a architektura.С. 41 – 43. |
| Аннотация: | Исследовано влияние режимов ионной бомбардировки подложки на качество осажденных пленок из нитрида титана. Определено рациональное время бомбардировки. |
| Описание: | Influence of the regimes of an ion bombarding substrate on quality besieged titanium nitride films is investigated. The rational time of the bombarding is defined. |
| URI: | http://ea.donntu.org/handle/123456789/10835 |
| ISBN: | 978-966-8736-05-6 |
| Располагается в коллекциях: | Публікації кафедри "Загальнонаукові дисципліни"
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.
|
